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超低溫煙氣脫硫除塵技術以超低溫空氣氧化技術性為簡易合理，因為煙氣中的氮氧化合物關鍵構成是NO（占95%），NO難溶于水，而高價態的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2和HNO3，溶解性進一步提高，非常容易根據燒堿溶液自噴等方式將其從煙氣中滑脫。將煙氣中的NO轉換為高價態，需引入極強的氧化劑，在諸多氧化劑中，活性氧是環境保護清理的強氧化劑，在高效率轉換NO至高價態的全過程中不遺留下一切二次空氣污染物，此外有別于OH、HO2 等，工作中艱苦環境，氧自由基生存時間十分短，耗能較高，O3的存活周期時間相對性較長，將小量co2或氣體水解后造成O3，隨后送進煙氣中，可明顯減少耗能。